Спектральный эллипсометр ES-2LED с бинарной модуляцией состояния поляризации используется для определения оптических параметров материалов, толщины оптически прозрачных и полупрозрачных слоев в многослойных структурах, качества обработки и шероховатости поверхностей. Принцип действия спектрального эллипсометра ES-2LED основан на переключении состояния поляризации, при этом на исследуемый образец попеременно направляется пучок монохроматического света, преобразующийся в последовательность ортогонально поляризованных пучков с азимутами линейной поляризации Р и Р+90°. Отраженное от образца излучение с двумя состояниями поляризации попадает на фотоприемники и  анализируется электронной системой регистрации  эллипсометрических параметров.

Технические характеристики:

• Спектральный диапазон длин волн – от 270 до 1000 нм;
• Спектральное разрешение – от 2,5 до 4 нм в зависимости от установленной входной щели монохроматора;
• Воспроизводимость и стабильность при измерении:
  • толщины – 0,1 нм,
  • показателя преломления – 0,005;
• Диапазон устанавливаемых углов падения – от 45° до 90° с интервалом 5°;
• Диапазон измеряемых толщин – от 0,1 нм до 5 мкм;
• Диаметр светового луча – 3 мм;
• Типичное время измерения на одной длине волны – от 0.5 до 2 с;
• Дискретность измерений – до 400 точек на спектр.

Методики исследования

• Определение оптических параметров материалов;
• Измерение толщины оптически прозрачных и полупрозрачных слоев в многослойных структурах;
• Расчёт шероховатости поверхности.

Требования к образцам

Образцы, используемые в эллипсометрии, должны быть плоскими и гладкими, и иметь однородную структуру. Образец должен быть изготовлен из материала, который позволяет свету отражаться от поверхности. Требуемый размер образца может варьироваться от нескольких миллиметров до 10 сантиметров. На поверхности образца не должно быть пыли, жира или других загрязнений, которые могут исказить результаты измерений. В случае многослойных образцов, покрытие должно быть однородным, без трещин или дефектов.